上海超硅在上海市松江区建设的“300mm集成电路硅片全自动智能化生产线”是近20年来全球范围内建设的全新的先进的全自动化智能化硅片生产线之一， 可规模化生产先进工艺制程所需的抛光片和外延片， 总产能扩产到80万片/月，是2019年-2025年上海市重大项目。

重庆超硅半导体有限公司成立于2014年，是上海超硅全资子公司，位于重庆两江新区。重庆超硅建设了国内一流、全球领先的以轻掺杂为主涵盖各种高等级制程工艺的200mm（8英寸）硅片生产线，产能40万片/月。